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IMEC 研究出全球首款最小适用于5nm工艺的SRAM芯片

IMEC研究出全球最小适用于5nm工艺的SRAM芯片,中国还在开发量产14nm工艺的时候国外已经开发研究出了5nm工艺的SRAM芯片,IMEC,全称为Interuniversity Microelectronics Centre, 微电子研究中心. IMEC成立于1984年,目前是欧洲领先的独立研究中心,研究方向主要集中在微电子,IMEC是全球知名的半导体研发中心,IMEC宣布了一项新的技术,制造了全球最小的SRAM芯片,面积缩小了24%,可适用于未来的5nm工艺。

IMEC 研究出全球首款最小适用于5nm工艺的SRAM芯片

除IBM、英特尔、台积电、三星具有强大的半导体工艺研发技术实力之外,IMEC作为全球最先进、独立、开放式微电子纳米研究中心,国内的14nm工艺就是于他们合作开发的。

三星在今年2月份的国际会议上宣布的6T 256Mb SRAM芯片,面积只有0.026mm2,不过IMEC联合Unisantis公司开发的新一代6T 256Mb SRAM芯片打破了这个记录,核心面积只有0.0184到0.0205mm2,相比三星的SRAM微缩了24%。

面积能大幅缩小的原因就在于使用了新的晶体管结构,Unisantis与IMEC使用的是前者开发的垂直型环绕栅极(Surrounding Gate Transistor,简称SGT)结构,最小栅极距只有50nm。研究表明,与水平型GAA晶体管相比,垂直型SGT单元GAA晶体管面积能够缩小20-30%,同时在工作电压、漏电流及稳定性上表现更佳。

目前IMEC正在跟Unisantis公司一起定制新工艺的关键工艺流程及步骤,通过一种新颖的工艺协同优化DTCO技术,研发人员就能使用50nm间距制造出0.0205mm2的SRAM单元,该工艺能够适用于未来的5nm工艺节点。

此外,该工艺还能使用EUV光刻工艺,减少工艺步骤,从而使得设计成本与传统FinFET工艺相当。

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aliyun

评论 1

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  1. #1
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    静态随机存取存储器,5nm,国外发展真是快

    rty452年前 (2018-05-30)

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